ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Описание к ИЛ № 29-131-05

Результат выполнения НИР.

Установка (см. рис.) имеет современную систему управления, магнитожидкостные уплотнения и может быть оснащена установкой для магнитного воздействия на расплав.

Процесс выращивания осуществляется в одиночном и полунепрерывном режимах, в полунепрерывном режиме можно выращивать до трёх кристаллов из одного тигля с промежуточной подпиткой расплава. Диаметр рабочей камеры 1000 мм.

Выращенные кристаллы накапливаются в специальной кассете, расположенной в приёмной камере. В качестве материала подпитки расплава используются поликристаллические стержни диаметром до 80 мм и длиной до 1000 мм, гранулированный или кусковой кремний. Охлаждаемые рабочие камеры установки (плавильная и приёмная) изготовлены из нержавеющей стали с применением электронно-лучевой сварки, что обеспечивает их надёжность, долговечность и высокую вакуумную чистоту рабочих полостей. С помощью гидромеханических устройств рабочая камера может раскрываться по трём плоскостям разъёмов, и отдельные элементы камер разводятся для обеспечения загрузки материалов, выгрузки готовых кристаллов и очистки.

Рис. Оборудование для выращивания монокристаллов кремния

Цифровой управляющий комплекс (ЦУК) установки позволяет полностью автоматизировать процесс выращивания кристалла и сплавления подпитки. При необходимости оператор может включаться в процесс, принимая управление на себя, с последующей передачей его комплексу.

ЦУК построен на основе модульной, многопроцессорной системы, которая обеспечивает гибкость, надёжность и защиту от аварийных ситуаций.

ЦУК обеспечивает:

ЦУК оснащён датчиками контроля диаметра расплава и ширины мениска, уровня расплава, температуры расплава в заданных точках с высокой степенью разрешения и точности, осуществляет документирование рабочих параметров и действий оператора, обеспечивает взаимодействие с оператором в диалоговом режиме.

Информация о текущем состоянии установки отображается на цветном экране видеомонитора в виде мнемосхем графиков, числовых значений и текстовых сообщений.

ЦУК предоставляет оператору средство для загрузки и корректировки технологических программ полного цикла выращивания кристалла от вакуумирования установки и расплавления шихты до остановки процесса после отрыва кристалла от расплава и охлаждения установки.