ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.

Номер

72-008-02

Наименование проекта

Технология очистки поверхности и гидрогенизации приповерхностной области полупрводниковых структур атомарным водородом.

Назначение

Для очистки поверхности полупроводниковых структур от собственных оксидов, пылевых частиц и органических загрязнений, а так же для гидрогенизации приповерхностной области полупроводниковых структур.

Рекомендуемая область применения

Производство полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Описание

Результат выполнения научно-исследовательской работы.

Сущность технологии очистки состоит в том, что в едином вакуумном цикле с процессами нанесения металлических, диэлектрических и других тонких пленок или ионной имплантации с использованием оригинального источника атомарного водорода проводится «сухая» вакуумная очистка поверхности полупроводниковых структур от загрязнений. В результате обработки в атомарном водороде происходит насыщение водородом приповерхностной области полупроводниковой структуры. В результате этого происходит подавление электрической активности мелких и глубоких уровней дефектов, пассивация точечных, линейных дефектов границ зерен и границ раздела. Использование данной технологии позволит целенаправленно управлять электрофизическими параметрами материала и, следовательно, изготавливать полупроводниковые приборы с заданными, повышенными параметрами.

Преимущества данной технологии очистки перед другими «сухими» методами обусловлены высокой реакционной способностью атомов водорода и чисто химическим механизмом удаления грязи.

Использование предлагаемой технологии позволит изготавливать полупроводниковые приборы и интегральные схемы с повышенными характеристиками, повысить воспроизводимость технологических процессов, увеличить процент выхода годных приборов , улучшить экологию производства.

Преимущества перед известными аналогами

В отличие от известных методов "сухой" очистки, предлагаемая технология позволяет получить поверхность значительно более высокого качества при более низкой температуре обработки.

Стадия освоения

Способ (метод) проверен в лабораторных условиях

Результаты испытаний

Технология обеспечивает получение стабильных результатов

Технико-экономический эффект

Повышение качества приборов на 60%.

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

26.06.2002

Инновации и люди

У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)

Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)

Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)

Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)