ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.

Номер

68-195-02

Наименование проекта

Устройство для вытягивания кристаллов из расплава

Назначение

Исключение попадания загрязнений в расплав.

Рекомендуемая область применения

Электронная и полупроводниковая промышленность.

Описание

Результат выполнения научно-исследовательской работы.

Целью изобретения является исключение попадания загрязнений в расплав

и повышение за счет этого качества кристаллов.

Устройство содержит камеру 1 роста шток 2 с затравкодержателем 3. Шток 2 коаксиально установлен на валу 4 механизма вращения с помощью шпоночного соединения 5. Механизм перемещения выполнен в виде винта 6 и гайки с кронштейном 7. Кронштейн 7 связан со штоком 2 с помощью подшипника 8 качения, под которым установлен сборник 9. Шток 2 и механизм перемещения снабжены кожухами 10 и 11 соответственно, закрепленными на камере 1 с помощью, магнитов 12 и 13.

Устройство работает следующим образом.

После загрузки исходного материала в камеру роста, ее герметизации и расплавления исходного материала включают приводы вращения и перемещения штока 2.

Крутящий момент от вала 4 с помощью шпоночного соединения 5 передается штоку 2, который также начинает вращаться. При вращении винта 6 механизма перемещения гайка с кронштейном 7 перемещается вверх или вниз в зависимости от направления вращения винта 6 и перемещает вверх или вниз соответственно шток 2.

Регулируя скорость и направление перемещения гайки с кронштейном 7, производят затравнивание и вытягивание кристалла.

Кожухи 10 и 11 предотвращают осаждение на шток 2 и механизм перемещения продуктов испарения расплава, а сборник 9 предназначен для улавливания продуктов

износа подшипника 8 и предотвращения попадания их в расплав.

Преимущества перед известными аналогами

Повышает качество кристаллов, обеспечивает проведение многократных вытягиваний из расплава в различных целях без вкрытия рабочей камеры после каждого вытягивания.

Стадия освоения

Внедрено в производство

Результаты испытаний

Соответствует технической характеристике изделия (устройства)

Технико-экономический эффект

Повышение качества кристаллов в 5 раз.

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

10.12.2002

Инновации и люди

У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)

Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)

Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)

Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)