ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.

Номер

68-149-02

Наименование проекта

Устройство для формирования многослойных структур

Назначение

Для нанесения тонких пленок полупроводниковых соединений и твердых растворов на их основе.

Рекомендуемая область применения

Технология полупроводниковых материалов и приборов.

Описание

Результат выполнения научно-исследовательской работы.

Устройство для формирования многослойных структур относится к области технологии полупроводниковых материалов и приборов, к устройствам для нанесения тонких пленок полупроводниковых соединений и твердых растворов на их основе.

Контейнер (рис.1) состоит из основной кварцевой ампулы и двух дополнительных ампул. Конструкция выращивает легированные пленки из газовой фазы с использованием двух дополнительных источников пара 1,2 с собственным компонентам 3 и с легирующей примесью.

Наличие двух дополнительных источников пара позволяет, регулировать состав растущих пленок путем задания различных температур источника пара собственного компонента. Имеется возможность управлять концентрацией примеси в пленке, задавая температуру источника пара легирующего компонента.

Контейнер содержит дополнительную ампулу 1. В дополнительной ампуле контейнера выполнены изолированные друг от друга камеры А и В с отверстиями, расположенными с возможностью размещения между ними нагревателя 2, а в основной ампуле 3, предназначенной для размещения в ней подложек 4, выполнена внутренняя полость 5 с отверстием.

Диаметр внутренней полости 5 на основной ампуле 3 равен внешнему диаметру дополнительной ампулы 1.

Ампула 1 и полость 5 плотно пришлифованы друг к другу. Дополнительная ампула закреплена на основной ампуле с возможностью вращения таким образом, что отверстие, выполненное во внутренней полости, находится на одной высоте с отверстиями в камерах А и В.

Камеры А и В обеспечивают раздельное размещение двух различных источников пара. Для смешивания паров разных составов в процессе выращивания перегородка, разделяющая камеры А и В, герметично приварена к стенкам дополнительной ампулы.

Внутренняя полость 5 и пришлифованная к ней дополнительная ампула 1 необходимы, чтобы обеспечить возможность совмещения отверстия на ней с отверстия

на ней с отверстиями в камере А и В в процессе выращивания и управления потоком паров в зону конденсации. Ленточным нагревателем 6 задается равномерное распределение температуры по внешнему диаметру основной ампулы 3. От диаметра основной ампулы зависит количество размещенных подложек по периметру.

Преимущества перед известными аналогами

Увеличение производительности контейнера, устранение поперечного градиента температуры вдоль кварцевого шлифа, упрощение конструкции.

Стадия освоения

Внедрено в производство

Результаты испытаний

Соответствует технической характеристике изделия (устройства)

Технико-экономический эффект

Увеличение производительности в 5 раз.

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

15.10.2002

Инновации и люди

У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)

Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)

Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)

Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)