ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.

Номер

72-006-02

Наименование проекта

Эксилампы емкостного разряда

Назначение

Получение эффективного узкополосного ультрафиолетового (УФ) излучения, спектр которого отличен от спектров известных ртутных, ксеноновых и криптоновых ламп.

Рекомендуемая область применения

При осаждении тонких металлических и диэлектрических пленок на подложки, фототравлении полимерных пленок (микроэлектроника), в УФ-фотохимии, для низкотемпературного окисления токсичных органических материалов и для инактивации микроорганизмов.

Описание

Результат выполнения НИИ и ОКР.

Эксилампы являются подклассом разрядных ламп, излучающих за счет распада эксимерных или эксиплексных молекул. С момента создания эксиламп была отмечена высокая эффективность передачи введенной в газовую среду энергии в ультрафиолетовое излучение (до 25%), причем более 80% от общей мощности излучения эксилампы может быть сосредоточено в относительно узкой (несколько нм на полувысоте) спектральной полосе соответствующей молекулы. Нами были впервые предложены и испытаны эксилампы емкостного разряда, имеющие простую конструкцию излучателя (рис.1) и пригодные для обеспечения высокого срока службы.

На рис.1 приведен внешний вид эксиламп емкостного разряда. Колба лампы выполнена из кварцевой трубки с пропусканием на рабочей длине волны. Электроды размещаются на внешней поверхности трубок, их длина может варьироваться. На электроды подается напряжение от источника питания, позволяющего получать высоковольтные импульсы с частотами несколько кГц и выше (рис. 2).

 

Подпись: Рис. 1. Внешний вид эксиламп емкостного разряда и фотография krcl-эксилампы: 1 - электроды, 2 - рабочий объем, 3 - кварцевая колба.

      

 Рис. 2. Принципиальная схема источника питания эксиламп емкостного разряда: 1 - источник постоянного напряжения, 2 и 3 - транзисторные ключи, 4 - повышающий трансформатор, 5 - эксилампа.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Исследования спектральных и амплитудно-временных характеристик излучения показали, что эксилампы емкостного разряда:

-обеспечивают сроки службы рабочих смесей не менее 1000 часов в режиме без принудительного воздушного

охлаждения устройства или при плотности мощности излучения десятки мВт/см 2;

-обеспечивают сроки службы рабочих смесей более 2000 часов в режиме с охлаждением и/или в условиях плотности мощности излучения единицы мВт/см 2;

-время установления стабильного режима выхода излучения охлаждаемой эксилампы составляет около одной минуты;

- за сутки изменение величины средней мощности излучения эксилампы с охлаждением составляет не более 5 % и около 10 %-без охлаждения, однако после технологической паузы в работе ламп начальные значения мощности восстанавливаются;

-разброс значений импульсной плотности мощности излучения не превышает 10 %.

Срок службы источника питания превышает десятки тысяч часов.

Преимущества перед известными аналогами

Колба эксиламп не содержит ртути; обеспечена надежность поджига разряда; имеется возможность варьирования формы колбы излучателя в широких пределах (цилиндрическая, шаровая, коаксиальная, спиральная и т.д.); эксилампа проста в обслуживании.

Стадия освоения

Внедрено в производство

Результаты испытаний

Соответствует технической характеристике изделия (устройства)

Технико-экономический эффект

Ускорение технологического процесса (например, в методе УФ+ИВА удается разложить известные пищевые продукты на 30-40% быстрее чем ртутными лампами).

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

19.06.2002

Инновации и люди

У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)

Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)

Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)

Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)