ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.

Номер

19-012-02

Наименование проекта

Механическая обработка полупроводниковых пластин на импортной установке DISCO (Япония)

Назначение

Обработка обратной стороны кремниевых пластин при производстве полупроводниковых приборов

Рекомендуемая область применения

Процесс применяется при изготовления полупроводниковых приборов

Описание

Результат выполнения технологической разработки.

В ОАО "Эльдаг" освоен процесс утонения полупроводниковых пластин диаметром 100 мм на импортной установкеdisco.

Процесс проводится в 3 этапа (3 фрезы) в едином технологическом цикле. Толщина утонения регулируется на каждом этапе. Разброс по толщине составляет ± 1 мкм. Прогиб пластин составляет менее 40 мкм.

Преимущества перед известными аналогами

Увеличение производительности по сравнению с аналогами в 2 раза

Стадия освоения

Внедрено в производство

Результаты испытаний

Технология обеспечивает получение стабильных результатов

Технико-экономический эффект

Процент выхода годных пластин увеличился на 10% и составил 96%.

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

19.03.2002

Инновации и люди

У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)

Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)

Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)

Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)