Инновации бизнесу. Полупроводниковый датчик для измерения быстроизменяющегося давления газа ДУВ1 и ДУВ2

ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.

Номер

20-323-01

Наименование проекта

Полупроводниковый датчик для измерения быстроизменяющегося давления газа ДУВ1 и ДУВ2

Назначение

Регистрация параметров процесса быстрого изменения давления газа, например, для определения параметров ударных волн.

Рекомендуемая область применения

Автоматизированные системы измерения и контроля.

Описание

Результат выполнения конструкторской разработки .

В качестве чувствительного элемента (ЧЭ) используются профилированные мембраны на основе монокристаллического кремния с расположенными на них диффузионными тензорезисторами. В датчиках типа ДУВ1 используются мембраны размером 1х1 кв. мм, в датчиках ДУВ2 - размером 2х2 кв. мм. Кроме разных размеров, ЧЭ этих датчиков имели разную топологию. В частности, у датчиков ДУВ2 на ЧЭ размещается схема балансировки тензомоста. Корпуса датчиков одинаковы.

Несмотря на различия в топологии, деформационные и температурные характеристики датчиков одинаковы.

Преимущества перед известными аналогами

Более высокая чувствительность и верхний предел рабочей длительности

Стадия освоения

Внедрено в производство

Результаты испытаний

Соответствует технической характеристике изделия (устройства)

Технико-экономический эффект

Сокращение трудоемкости на 20%

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала