ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Результат выполнения конструкторской разработки.

В состав интерферометра входят акустооптический модулятор, объектив, блок отражателей с триппель-призмами, фотоприемник.

Принцип работы и устройства следующий. Пучки лучей источника монохроматического излучения проходят через акустооптический модулятор, где дифрагируют на бегущей ультразвуковой волне. В результате дифракции пучки лучей распространяются под разными углами по отношению к оптической оси интерферометра. Частотные спектры пучков лучей отличаются друг от друга на частоту возбуждения ультрозвуковой волны, а угол расхождения пучков лучей равен углу дифракции. Став параллельными при прохождении через объектив, пучки отразившись от боковых граней триппель-призм попадают на фотоприемник, на выходе которого имеется электрический сигнал, частота которого равна разности частот взаимодействующих пучков. Каретка с блоком отражателей движется по измеряемой поверхности. В случае непрямолинейности блок совершает наклоны, что приводит к изменению длины оптического хода лучей. Изменение разности хода пучков лучей приводит к изменению фазы электрического сигнала, которое пропорционально непрямолинейности измеряемой поверхности.

Аналогично измерение линейных перемещений.